成果详情 本项目为集成电路、液晶显示、新能源、食品制造、生命科学、机械制造、数据中心等行业客户提供工艺介质供应系统和工艺环境综合解决方案。
工艺介质供应系统包括气体供应系统、化学品供应系统、Hook Up综合解决方案。气体供应系统包括大宗气体供应系统(BGS)、特殊气体供应系统(BSGS)、气体监控系统(GMS)等大宗气体及特种气体输配成套解决方案。实施全方位品质保证,具备高纯度、易操作、易维护的特点,满足工艺且兼顾环保达标排放。化学品供应系统是从厂务支持端到工艺端全方位进行配套服务,为多家国内知名半导体客户提供Slurry输送及回用系统、化学品输送系统(CDS)等服务,满足半导体、液晶显示面板制造、光伏、光纤等行业生产各工艺需求的环境因素控制标准,并确保对高纯工艺介质不产生二次污染,确保安全稳定传输运行。Hook Up综合解决方案提供POWER、BULK GAS、SPECIAL GAS、CDA等所有Hook Up子系统的规划、设计、实施及维护。为高端装备制造业提供集规划设计与实施维护为一体的高性能、高质量服务,在特定技术要求下安全、优质地将各种动力源衔接至高端制造业设备机台,确保其正常运作。
本项目已在微污染控制、液气分离与提纯、工艺监测与安全保障、洁净工艺等关键技术领域取得了实质性技术突破,获得授权发明专利9项,实用新型专利97项,软件著作权16项。所转化的核心产品全自动气体输送柜及全自动化学品输送柜产品均通过Semi及CE认证。本项目产品和技术方案具自动化,工艺数字化、节能环保,高纯、易用度、易维护度以及系统集成度高,稳定、不产生二次污染等优点,已广泛应用于泛半导体产业、光纤通信、生命医药等多行业领域,完全满足客户纯度、工艺、安全的三大核心控制技术要求,获得用户一致好评。
知识产权情况 暂无
应用效果及市场前景 暂无
技术优势 暂无