氧化物薄膜晶体管技术及其在柔性有机发光显示中的应用
2023-11-14 18:26:01
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技术领域： 高技术服务
所在地区： 广东省/广州市/黄埔区
技术成熟度： 暂无
转让方式： 技术入股
交易价格： 面议
联系人： 暂无
联系人电话： 暂无
所属单位名称： 广州新视界光电科技有限公司
单位简介：
成果详情 该项目围绕柔性AMOLED显示关键技术，在氧化物TFT材料与薄膜制备技术、柔性AMOLED显示集成技术方面取得了重要研究成果：1、建设完成了完整的AMOLED技术中试研发平台。将源头创新的研究成果推向产业，为显示龙头企业提供了AMOLED关键材料、TFT基板关键技术等支持；2、研发了镧系稀土(钕)掺杂的新型氧化物材料(Ln-IZO)，打破了国外对氧化物TFT技术的垄断，与日韩公司发明的IGZO氧化物材料相比，Ln-IZO材料具有迁移率高、稳定性好等性能优势；3、开发了基于纳米薄膜保护沟道的高性能BCE新结构的TFT技术，解决了高迁移率Ln-IZO TFT工作稳定性的难题，并将光刻次数由6次减少为5次，简化了TFT背板制备工艺，有效降低了生产成本；4、开发了TFT阵列低温制程工艺，将整体工艺温度降低到350℃以下，比三星量产的低温多晶硅TFT技术低100℃，有利于实现国产塑料衬底的替代，提升了中国高端显示产业安全系数；5、开发了具有自主专利的全无机薄膜封装技术，并将TFT阵列与OLED显示面板进行了有效集成，于2013年7月在国内首先开发出全彩色柔性AMOLED显示屏，实现中国该领域零的突破。该项目申请中国发明专利86件，申请国际PCT专利8件，已获授权的中国发明专利51件，涵盖与柔性AMOLED显示有关的新材料、新器件、新工艺等关键技术。发表SCI论文142篇，被引用3351次，其中关于OLED器件结构方面的论文，被国际知名期刊《Nature Photonics》以Highlight形式进行了报道，产生了较高的国际影响力。该项目研发了多款2-5英寸的柔性AMOLED显示产品样机，厚度仅10微米，弯曲半径可低至3毫米，达到国际先进水平。该柔性AMOLED显示成果被国家中央人民政府、国家科技部、Nature、OLED info等国内外媒体报道，引起了广泛关注，项目组主要人员受邀20余人次在国际国内重要会议作邀请报告，提升了国际影响力。基于该项目的技术成果，华南理工大学与创维集团共同投资成立广州新视界光电科技有限公司(2010年)，推动华南理工大学的AMOLED显示研究成果的中试转化，其中知识产权评估价值为1500万元。近3年，华南理工大学与广州新视界光电科技有限公司以技术研发、技术服务和产品开发等方式将项目成果投入应用，获直接经济效益2163.02万元。项目成果已经完成中试，正在与企业合作将中试成果导入大规模量产。在项目执行期间，项目组1人获国家973项目支持(首席科学家)，3人获广东省特支计划科技创新青年拔尖人才项目支持，3人获广州市珠江科技新星项目支持，培养了博士26人，硕士31人，创建了“光信息科学与技术”本科专业，为中国新型显示产业培养了大批高技术人才。
知识产权情况 暂无
应用效果及市场前景 暂无
技术优势 该项目的成果亮点主要有以下几个方面。首先，项目建设完成了完整的AMOLED技术中试研发平台，为显示产业提供了AMOLED关键材料和技术支持。其次，研发了具有高迁移率和稳定性的镧系稀土掺杂的新型氧化物材料(Ln-IZO)，与国外的IGZO材料相比具有更好的性能优势。第三，开发了基于纳米薄膜保护沟道的高性能BCE新结构的TFT技术，解决了高迁移率Ln-IZO TFT工作稳定性的难题，同时简化了制备工艺，降低了成本。第四，开发了TFT阵列低温制程工艺，使整体工艺温度降低到350℃以下，有利于实现国产塑料衬底的替代，提高了中国高端显示产业的安全系数。第五，开发了具有自主专利的全无机薄膜封装技术，并成功将TFT阵列与OLED显示面板进行了有效集成，首次在国内开发出全彩色柔性AMOLED显示屏，实现了中国在该领域的突破。该项目还申请了86项中国发明专利和8项国际PCT专利，发表了142篇SCI论文，对国际显示领域产生了较高的影响力。此外，该项目还研发了多款2-5英寸的柔性AMOLED显示产品样机，达到了国际先进水平。项目成果也被国内外媒体广泛报道，提升了华南理工大学的国际影响力。通过该项目的技术成果，华南理工大学与创维集团共同投资成立了广州新视界光电科技有限公司，并推动了AMOLED显示研究成果的中试转化，取得了显著经济效益。项目还培养了大批高技术人才，为中国新型显示产业作出了贡献。
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