成果详情 1.多模态成形抛光装备
采用抛光技术快速去除表面氧化层,暴露出亚表面损伤层,再利用小尺寸抛光模对金属表面进行研磨和抛光,根据所建立的数学模型,通过控制磨头在加工表面上的运动路径、相对压力与驻留时间来控制材料去除量。
拥有恒压控制技术、双保持架高稳高转速自转轴设计技术。可达到面形精度PV优于5μm,表面粗糙度Ra优于0.1nm。
2.多模态磁控抛光设备
磁控抛光液进入抛光区后在高梯度磁场作用下变成粘塑性的宾汉介质,形成“柔性抛光模”与光学零件表面接触时会产生很大的剪切力,从而实现材料的稳定去除,达到抛光、修形的目的。
可实现近零疵病、纳米材料去除分辨率、高稳定性、高效自由曲面加工等功能,拥有抛光缎带稳定技术、中频抑制技术。可达到加工精度优于1/100 λ(λ=632.8 nm),表面粗糙度RMS优于0.5 nm。
3.等离子体能束抛光机
等离子体抛光技术是在真空环境中,使用离子体能束轰击工件表面,利用轰击时发生的物理溅射效应去除表面材料,达到修正面形误差的目的。离子轰击工件表面的物理溅射过程伴随着复杂的能量传递与交换,并在工件内部引起级联碰撞,当工件表面原子被碰撞并获得足够的能量可以摆脱表面束缚能时,就会脱离工件表面形成溅射原子。
具有非接触、亚纳米材料去除分辨率、高稳定性等技术特色。可达到加工精度优于1/600 λ(λ=632.8 nm)。
以上设备均可适用于金属、石英、微晶、ULE、BK7、单晶硅、SiC等材料;平面、球面、二次曲面、高次非球面、自由曲面等形状。
精源公司目前已有汽车HUD自由曲面镜模具超精密抛光,应用于车载抬头显示光机的自由曲面镜的纯钢、陶瓷等高强度、高硬度材料的模仁进行超精密加工,能力可达到:面形PV优于5μm,粗糙度Ra优于2 nm。非球面凹面镜模仁,应用于某投影反射镜的纯钢模仁的超精密抛光产品,能力可达到:面形PV:7.6μm,粗糙度Ra:1.394-1.817 nm。可有效消除亚表面损伤层、单点车、UVM等设备加工的刀纹和彩虹纹。
知识产权情况 暂无
应用效果及市场前景 暂无
技术优势 暂无