半导体集成电路黄光制程专用功能电子化学品
2023-12-16 12:08:47
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技术领域： 前沿新材料
所在地区： 广东省/广州市/黄埔区
技术成熟度： 暂无
转让方式： 许可转让
交易价格： 面议
联系人： 陈先生
联系人电话： 198****7160
所属单位名称： 广州微纳芯材料科技有限公司
单位简介：
广州微纳芯材料科技有限公司是一家集研发、生产、销售为一体的专业面向半导体精密线路制程专用材料和电子化学品的高新技术企业。拥有一支教授级高工、博士领衔的技术团队，依托广州市第三代半导体创新中心，构建公司的研发中心。专业面向6、8、12寸晶圆芯片制造领域、Mini/MicroLED芯片、晶圆级封装、光伏、TFT-LCD显示等不同领域的精密线路制程。微纳芯材通过了 ISO9001、ISO14001和ISO45001认证，以优质的产品品质、卓越的服务、专业的技术实力赢得了行业内知名企业信赖。
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成果详情 黄光制程是半导体精密线路制造中非常关键的工艺流程，主要分为曝光、显影、蚀刻、剥离这四大工序，要想通过这四大工序完成光刻精密线路图形化转移，应用到其中的光刻胶、显影液、蚀刻液、剥离液等功能电子化学品则显得尤为重要。广州微纳芯材料科技有限公司精密线路制程功能电子化学品材料项目主要在金属刻蚀液与光刻胶剥离液进行研发创新，过去单一产品的刻蚀液只能针对一种金属的刻蚀，单一产品的剥离液只能应用在一个剥离工序，而半导体黄光制程中往往需要刻蚀多种金属，如铜、钛、镍、金、锡、银等金属，过去单一产品功能的蚀刻液则会给多种工序金属刻蚀带来不便。对此，我们在金属蚀刻液和剥离液进行技术创新，一款金属蚀刻液可以应用到2种金属蚀刻，过去需要2道工序的金属蚀刻，用我们的产品，一道工序即可完成2种金属蚀刻；过去三道剥离工序需要三款剥离液，用我们一款去胶液即可完成三道剥离工序。这两项技术创新不仅提高了客户生产效率，也降低了客户用料成本。目前该项目技术创新的产品已经量产并应用mini/micro LED芯片领域。
知识产权情况 暂无
应用效果及市场前景 暂无
技术优势 暂无
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